激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應低、無汙染、無噪音等優點,在汽車、船舶、航空航天和電子工業中都得到了廣泛的應用。而激光切割加工質量與激光焦點與工件之間的相對位置有著密切的關係,保證激光焦點和切割對象之間的合理的相對位置是保證激光切割加工質量的關鍵之一。
激光聚焦的焦點位置無法直接測量,但可以通過間接方法檢測。對於一個激光切割加工係統,其焦點位置是由聚焦鏡的光學焦點決定的,所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的(不考慮聚焦鏡的熱效應),因此可以通過檢測聚焦鏡和被加工對象之間的相對位置來間接檢測焦點和被加工對象之間的位置關係。
激光焦點和被加工對象之間的相對位置可以通過電感位移傳感器和電容傳感器來檢測,在使用中各有優缺點。電感傳感器的響應頻率較低,不太適用於高速加工和像!維加工這樣需要非接觸檢測的場合;電容傳感器,具有響應速度快,檢測精度高等優點,但在使用過程中存在非線性和易受激光切割加工過程中產生的等離子雲和噴渣的幹擾的影響